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課程名稱 |
微機電系統設計
Design of Micro-electro-mechanical Systems |
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開課學期 |
101-2 |
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授課對象 |
工學院 機械工程學系 |
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授課教師 |
楊燿州 |
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課號 |
ME5111 |
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課程識別碼 |
522 U0710 |
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班次 |
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學分 |
3 |
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全/半年 |
半年 |
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必/選修 |
選修 |
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上課時間 |
星期五3,4,@(10:20~) |
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上課地點 |
工綜205 |
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備註 |
與莊嘉揚合開
總人數上限：40人 |
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Ceiba 課程網頁 |
http://ceiba.ntu.edu.tw/1012MEMS |
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課程簡介影片 |
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核心能力關聯 |
核心能力與課程規劃關聯圖 |
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課程大綱
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為確保您我的權利,請尊重智慧財產權及不得非法影印
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課程概述 |
微機電簡介
微電子、微機電製程介紹
系統分析與模擬
感測原理
信號、系統與雜訊
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課程目標 |
本課程介紹微機電最基本的知識，包含製程設計、感測原理、和系統模擬等，以期同學可獲得進入微機電領域的入門知識，並熟知微機電設計原則。 |
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課程要求 |
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預期每週課後學習時數 |
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Office Hours |
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指定閱讀 |
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參考書目 |
Microsystem Design, by S.D. Senturia, Kluwer Academic Publishers, 2001 |
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評量方式
(僅供參考) |
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No. |
項目 |
百分比 |
說明 |
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1. |
Homework |
20% |
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2. |
Midterm Exam |
30% |
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3. |
Term Project 1 |
25% |
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4. |
Term Project 2 |
25% |
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週次 |
日期 |
單元主題 |
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第1週 |
2/22 |
內容介紹 |
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第2週 |
3/1 |
MEMS簡介，scaling laws (楊) |
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第3週 |
3/8 |
scaling laws (楊) |
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第4週 |
3/15 |
微電子製程 (莊) |
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第5週 |
3/22 |
微電子製程 (莊) |
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第6週 |
3/29 |
微機電製程 (莊) |
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第7週 |
4/5 |
(清明節) |
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第8週 |
4/12 |
微機電製程 (莊) |
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第9週 |
4/19 |
結構與流體力學 (楊) |
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第10週 |
4/26 |
結構與流體力學(楊) |
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第11週 |
5/3 |
微機電設計分析概念及流程簡介 (楊) |
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第12週 |
5/10 |
Midterm Exam |
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第13週 |
5/17 |
期末創意報告提案 / 感測原理 (莊) |
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第14週 |
5/24 |
系統動態分析模擬 (楊) |
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第15週 |
5/31 |
感測原理、信號與雜訊 (莊) |
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第16週 |
6/7 |
期末報告 (楊) |
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第17週 |
6/14 |
期末創意報告 (莊) |
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第18週 |
6/21 |
(無期末考) |
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